Бельгийцы обнаружили возможность ускорить производительность EUV-сканеров на ровном месте

27.02.2026 в 21:58,
Hard news

Процесс переноса изображения с маски на фоточувствительный слой на кремниевой пластине при изготовлении чипов балансирует между качеством и скоростью нанесения рисунка. Ускорить его можно либо повысив

мощность излучения, с чем есть проблемы, либо повысив чувствительность фоторезиста, с чем тоже всё не очень хорошо. Исследователи из бельгийского Imec нашли неожиданный вариант по ускорению процесса, ...

Автор: 3DNews
Источник: https://3dnews.ru/1137554
×